Jumbo Hotplate
Jumbo Hotplate
대형 핫플레이트
- 제품사양● Plate의 온도 분포도와 평탄도가 우수함
● 평탄도와 온도 균일도가 중요한 실험에 적합
● 웨이퍼나 기판 bake, 각종 코팅 공정, 열팽창 시험에 적합
● 300x300mm, 400x300mm, 600x300mm 다양한 Plate 사이즈
● Plate를 Anodizing 처리하여 내마모성, 내약품성 우수
● 온도 상승 속도 조절 가능(Ramp 기능)
● 4개의 구간에서 튜닝 가능하여 광범위한 온도에서 정확한 온도 제어(4 Zone PID)
● Plate가 매립 형태라 안전함
● 규격 외 주문제작 가능(Plate 사이즈 변경, 최대 온도 변경, 프로그램 타입)
- 제품관련정보
